USHIO灯驱动电源维修
高均一性照射由于基板问题变化而产生的变色减少。
省略了周边四角的曝光
Tack时间短
利用光学Filter对光的控制技术，
受损情况小，低温处理
Mask对位机能
能够和Pattern进行精度较高的对位，
有效的曝光技术进行展开。
系统构成
设备本体
电源，控制面板
循环冷却Unit（Lamp冷却用）
Mask Work冷却用冷气机
USHIO灯驱动电源维修方法：电源故障的原因有很多种，我们不可能做到完全消除故障的存在，但如果电源的品质够好，也是能将出现故障的概率降到最低，如果您还在为挑选一款电源而犯愁，那么推荐您了解一下XED电源，不论是选材、设计还是性能，都能让您放心使用。
工业电源维修：AE电源维修，美国MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE电源维修，AE电镀电源维修，uv电源维修，AE射频电源维修，电镀高频电源维修，刻蚀射频电源维修，RE射频电源维修，PECVD射频电源维修，大功率工业电源维修，UPS电源维修等各行业工业用电源维修，射频电源设备维修：刻蚀，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等系统，
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