氦质谱检漏仪机械泵和分子泵故障维修及处理方法：
氦质谱检漏仪机械泵故障及处理：
1、机械泵不动作
检查项目有：氦质谱检漏仪电源电压是否正常，开关是否打开，绕组是否断路或接地，电机是否过热(泵冷却后是否能启动)。
2、机械泵声音异常
检查油位是否合适，油质是否变坏，油温是否<10℃，油雾过滤器的出口有无气体排出(如果无气体排出，更换油雾过滤器)。
氦质谱检漏仪分子泵故障及处理：
1、仪器界面上TMP显示“0”即分子泵没有工作
有可能是前级压力过高(该分子泵的启动压力为200Pa)导致分子泵无法启动。检查导致压力过高的项目有：真空规管是否有问题，分子泵出口是否打开，机械泵油是否太脏或机械泵是否转动，系统是否有泄漏。也有可能是分子泵的叶片或转子被损害，可自行用工具拨动叶片，判断其能否转动。
2、分子泵加速指示灯不亮
电路板上的保险丝烧断，更换保险丝或检查是否有短路现象。
3、分子泵故障灯亮
检查电路板设置开关是否处于R位置，此时应该在N位置。检查风扇是否停止，如风扇正常，则可能为氦质谱检漏仪分子泵电源故障。
氦质谱检漏仪质谱室故障及处理
1、灯丝无法正常启动，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。若灯丝指示灯闪烁，检查离子源航空插座与接线柱是否开路，若开路，需要更换灯丝，若不开路，检查其接线柱与其他接头是否导通，消除短路现象。
2、本底信号处于杂乱无章的波动状态且大小远远超过氦质谱检漏仪故障自身的本底噪声，需要考虑放大器是否故障。质谱室出现故障一般用户无法解决，只需对故障进行定位，交由维修处理。
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