扩散泵不起作用故障怎么排查？维修方法分析
一、扩散泵不起作用
故障原因：1.系统漏气
2.加热器不起作用
3.油温不足
4.泵出口压强过高
5.泵本身漏气
排除方法：
1.关闭泵的上部主阀检漏
2.检查电源是否接触良好和加热器是否烧断
3.检查加热电压和功率是否符合规定
4.检查前级管道有无漏气，前级泵是否符合要求，工作是否正
5.检查前级管道与泵体焊接处，泵底与泵体焊接处是否漏气，应对二处细加检查
二、极限真空度低
故障原因：
1.系统漏气，泵本身微漏
2.泵芯安装不正常
3.系统和泵内不清洁
4.泵油变质
5.泵冷却不好
6.泵油不足
7.过热
排除方法：
1.查漏处，消除之
2.检查各级喷口位置和问隙是否正常
3.检查、清洗、烘干洗涤溶剂
4.泵洗后换油
5.检查水流量和出水温度，保持水路畅通
6.加油至规定数量
7.降低加热功率并检查冷却水流量
三、抽速过低
故障原因：
1.泵油加热不足
2.泵芯安装不正确(对金属泵而言可修复)
排除方法：
1.检查电源电压及电炉功率是否符合规定
2.检查各级喷口有无倾斜及间隙是否正常
四、返油率过大
故障原因：顶喷嘴螺帽松动，泵芯内结构不合理，加热功率不对
排除方法：消除通孔螺帽，加挡油帽改进结构，加挡油装置，重调加热功率，加暴沸挡板，泵口加冷井等.
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