ETD-900离子溅射仪溅射电流不稳定故障的解决方法
离子溅射仪常见故障，分以下四种：
1、故障现象：使用一段时间后，溅射电流变小
解决方法：对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查。前两者对靶材进行更换，后者被油蒸汽污染，通过无水乙醇进行清洁，等到干了以后才能够抽真空。
2、故障现象：在使用一段时间以后，有着过低的真空。
解决方法：对溅射室中或管道内是否有油进行检查，能够使用汽油进行清洗。
3、故障现象：溅射电流不稳定忽高忽低
解决方法：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整。
4、故障现象：有着过低的真空
解决方法：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧。
转载请注明出处：上海仰光电子科技专业伺服驱动器维修,伺服电机维修
本文链接：/fuwu/Services_Show17681.htm
伺服驱动器维修 伺服电机维修 触摸屏维修 变频器维修
联系方式：
电话：021-50157782
手机：13817011982 微信同号
邮箱：shygdzi@163.com
联系人：张工
网址：
【 我们确保修好测试好给客户！！！！】
上一篇：Diener PICO 等离子清洗机真空泵过载故障排查方法
下一篇：没有了
