Chemtron CVD专用氢气发生器不能启动故障怎么检修？
1.发生器不能启动。
故障原因：(1)电路没有接通；(2)氢气开关电源损坏；(3)在压力为0空载运行时电解池烧坏。
检查方法：(1)检查电路；(2)用万用表测量电解池的电压是否在2.3V左右。
排除方法：(1)修理电源；(2)更换损坏的氢气开关电源；(3)更换电解池。
2.产氢达不到预定的压力。
故障原因：(1)气路系统漏气；(2)过滤器或过滤器上盖没有拧紧；(3)氢气电解池反漏。
检查方法：用检漏液检测各气路连接处。
排除方法：(1)更换漏气元件；(2)拧紧漏气点；(3)厂家更换电解池。
3.产氢超过预定的压力。
故障原因：(1)自动跟踪装置挡光板错位或脱落；(2)光电耦合损坏。
检查方法：(1)目测；(2)用万用表测量电路。
排除方法：(1)前面板上的压力达到0.3MPa时关闭电源，把挡光板安装在合理的位置上，打开电源开关轻轻敲紧挡光板即可；(2)更换损坏的光电耦合元件。
4.发生器能启动，但氢气的数显显示为0或黑屏。
故障原因：数字显示表损坏。
检查方法：用万用表测量电路。
排除方法：更换数字显示表。
5.开机后，产氢量达不到300ml/min或需要很长时间才能达到。
故障原因：(1)电解液失效；(2)开关没有旋紧，有漏气现象。
检查方法：(1)观察电解液的液面是否低于下限或电解液使用半年以上；(2)试漏。
排除方法：(1)及时添加二次蒸馏水或去离子水。或将新配置的冷却后电解液(母液)倒人储液桶内，再加入二次蒸馏水或去离子水，水位在水位线上下限之间(氢氧化钾溶液的浓度为l0%左右)，拧上外盖，10min后即可使用；(2)继续旋紧开关，使仪器的压力和流量达标。
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