英福康Inficon冷媒检漏仪HLD5000故障现象的维修方法
1、内漏
当检漏仪内部发生泄漏时，会对检漏工作造成很大的干扰，容易造成误检和误判。各部件接口处的密封件。如放大器与质量室接口、离子源与质量室接口、分子泵与质量室接口、标准泄漏与阀门组件、真空计与阀门组件之间的橡胶圈密封，采用氦注入法寻找泄漏点，更换密封。
2、背景信号不稳定
1） 如果背景信号过高，可能是环境背景受到污染。注意检查房间是否有氦源泄漏。打开房间门窗通风，减少环境背景。
2） 也可能是由于质谱室的污染，背景信号太高。如果检漏仪经常检测到被检部位有油污、灰尘等杂质较多，质谱仪室很容易被污染，需要返厂清洗。背景信号不稳定。检查电源电压是否稳定。检漏仪应可靠接地。
3） 背景信号不稳定，检查泵油是否混浊污染。
3、设备分子泵不启动
分子泵不启动，主要检查电源和前级真空是否正常（更常见的是前级真空机械泵故障或无法打开导致分子泵无法启动）。或者分子泵本身被振动和灰尘污染损坏。
4、设备质谱室工作不正常
在确认机械泵和分子泵处于正常工作状态后，如果灯丝仍不能发射离子电流，则需要更换离子源。
5、前级机械泵工作不正常
主要是观察泵油的颜色是否正常，灰尘污染会使油变黑，水蒸气使油变白，从而导致机械泵的不正常运行。此外，温度过低会增加机械泵油的粘度，使其无法起动。温度过高也会使机械泵产生热保护而停止工作。最好使用+10到+40之间的机械泵环境温度。
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