EMS1050等离子体表面处理仪真空泵过载维修
一、真空泵过载解决
1、出现此情况请首先观察系统参数有无变化，设备突然断电会引起系统参数归零，导致设备出现此类报警;
2、如系统参数无变化，请确认热继电器是否自动保护，按复位键，然后启动真空发生系统。如没有自动保护，请检查电气线路有无断路或短路情况;
3、检查导线是否有断路或短路情况。
二、真空泵机械故障解决
1、所处理产品有严重渗气情况，真空倒计时时间设备较短，无法在设备时间内抽到背底真空;
2、检查真空门是否关到位;
3、逐级检查真空系统中各连接点，看是否有管道连接不良或损坏;
4、真空泵故障，需检查保养真空泵。
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