图 角度比较仪(测量步距约为0.001“)
成立于1889年德国柏林,在高精位置测量和控制技术领域处于领导地位,HEIDENHAIN拥有研发和生产测量设备和数控系统的丰富经验和专业知识,专业研发和生产高质量直线光栅尺和角度编码器、旋转编码器、数显装置和数控系统。
基本原理和制造工艺
海德汉产品的高质量源自特殊的生产和测量设备。光栅尺的母模版和基体是在专门设计的有特殊温度调控和减振措施的超净车间中生产的。海德汉开发和制造直线光栅尺和圆光栅码盘生产和测量所需的几乎全部设备,包括刻线机。我们为用户提供大量高度个性化的直线和角度计量解决方案,充分体现我们的超强竞争能力。在众多应用中,我们的产品还被大量应用在为标准实验室设计研制的测量和检验设备上,我们的角度编码器已应用在天文望远镜和卫星接收天线上。毫无疑问,海德汉的标准产品也受益于其中所积累的知识和经验。
高精度光栅:高精度的基础
海德汉公司光棚尺或编码器的核心是我们的测量基准,通常为0.25μm至10μm线宽的光栅尺。这些高精度的光栅尺采用海德汉公司发明的光刻工艺生产 (例如DIADUR或METALLUR),它是编码器功能和精度的决定性因素。光栅是由一系列等间距排列的刻线和狭缝组成,其间距误差极小,刻线边缘整齐清晰。这些光栅尺能抵抗机械和化学以及振动和冲击的影响。所有测量基准都具有可定义的温度特性。
DIADUR
DIADUR精密光栅是在基板上沉淀一层极薄的铬,基板通常为玻璃或玻璃陶瓷材质。这种光栅尺精度可达到微米级或亚微米级。
METALLUR光柳尺具有独特金反光层的光学材料,接近为全平面结构。因此抗污染能力强。
相位光栅
采用特殊制造工艺生产的三维结构光栅,具有特定光学特性。这种结构的光栅宽度只有几微米至四分之一微米。
SUPRADUR工艺生产的光栅的光学特性类似于三维结构的相位光栅,但它具有平面结构,因此具有超强的抗污染能力。
OPTODUR
OPTODUR光刻工艺生产的光栅具有极高反光率。它由光学三维结构构成,其平面结构类似SUPRADUR光棚。MAGNODUR微米级磁膜构成的精细磁栅。
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