MKS电容薄膜规真空计维修 631D13T8FPBB故障维修
一、排气口冒烟或者喷油
1、冒烟：若为泵开始运转有冒烟的现象，属正常现象，若长时间冒烟则不正常。冒烟说明泵的进气口外，包括管道、阀门、容器有泄露真空的状态存在。
2、喷油：进气口外有大量的漏点，甚至暴露大气。封住泵的进气口使泵运转，若不喷油，说明有漏点；检查排气阀片是否损坏，更换坏的排气阀片。
二、噪音
1、敲缸：不规律的响声，似金属敲打声音。可能为泵内没有油，或泵油进入过多水气，或泵内油路不通造成。检查泵油位是否正常；排出泵油，观察油内是否含有大量水，若含有大量水，请更换新油；拆开泵对泵的每一个模块上的小孔用压缩空气吹扫。
2、排气阀片噪音：排气阀片破损。更换好的排气阀片。
三、真空度下降
1、泵油的牌号和原先的不一样：根据产品的型号规格更换正确的新真空泵油。
2、泵油乳化变色，或过脏：放干泵油，更换同类型泵油，将气镇阀调节至“II”档位，泵运行2-4小时，并解决被抽气体中水蒸气和杂质不进入泵内。
3、被抽气体的温度可能过高：降低气体温度。
4、泵内的油路不通或者不畅，泵腔内没有保持一定量的油量：检查油路是否畅通，并加同类型真空泵油。
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