INFICON英福康通用气体吸枪检漏仪维修保养
真空技术直接影响MOVPE 外延工艺水平，因此保证设备真空稳定运行显得尤为重要。根据MOVPE 设备运行原理，真空系统故障大体分为如下类型。
1 机械故障
机械故障导致的真空度不稳定是MOVPE 最常见的故障类型。MOVPE 设备真空反应室及真空管道、阀门等机械部件偏离正常状态，真空系统丧失部分或全部功能，导致真空系统故障。根据机械零件失效理论，这类故障一般包括机械零件磨损失效、零件断裂失效、金属零件的腐蚀失效、真空零件变形失效等。理论上讲，零件出现缺陷是机械故障的总根源。曾发现过蝶阀阀芯上的胶圈腐蚀、变形，导致阀芯卡死，不能实时调节真空压力值；或者管道中球阀与控制其开闭的气动阀之间的固定销断裂，导致阀门常开或者常闭，影响真空管道排气等故障。
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