离子溅射仪的原理常见故障及解决措施
一，离子溅射仪常见故障：
1.使用一段时间后，溅射电流变小：对靶材有无变色、破裂和油污等现进行检查，若是靶材变色或破裂，要对靶材进行更换；若是有油污，则用无水乙醇进行清洁，等到干了以后才能够抽真空；
2.在使用一段时间以后，有着过低的真空：检查溅射室中或管道内是否有油，可以使用汽油进行清洗；
3.溅射电流不稳定忽高忽低：阴极罩与靶的固定环有着过近的距离，将阴极罩逆时针旋转，对间距进行调整；
4.过低的真空：将放气阀、漏气阀和观察泵的油窗液面旋紧；
5.真空泵出现反油现象：机械真空泵长期保持极限真空。
二，离子溅射仪抽不上真空的故障
1.首先检查真空泵排除基本可控情况，听真空泵的声音是否异常，如无异常检查真空泵引线和电磁阀引线的插头处是否连接正常，插头里的排针有误脱落或者接触不良。检查真空泵的与真空管道的连接，管道应于真空泵的进气口连接，不要误接到排气口。
2.检查上盖和玻璃钟罩是否放端正，玻璃钟罩和下底盘的边缘基本平齐，上盖和钟罩不能有错位。真空管道与仪器接口处的卡箍或者喉箍是否卡紧。开机，如果真空表还是没有走动，请立即关机。继续做排除工作。
3.用kF16的盲堵配合KF16的橡胶圈（没有可用橡皮塞代替），将仪器下底盘的真空排气口堵住，开机，观察真空表是否走动。
三、真空表打表
1.真空表向左或者向右打表，可以拆开前面板，找到一个白色8芯插座，看插座是否接触不良。如果仍然打表，可将真空规管的黑色插头拔掉，看是否打表。
四，真空忽高忽低
1.将真空室里的样品取出，并清理真空室，空机试一次。
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