英国VacCoat 系列离子溅射仪吸收不畅故障原因分析及处理方法
全自动离子溅射仪的常见故障及其解决方法：
1、当出现检测器失效时如何解决
检测器失效时的原因有4种：
①检测器的插头与主机板座松了；
②检测器本身坏了；
③阀芯上的固定螺钉与电机转动轴未紧固到位；
④阀芯本身太紧不能转动。检查的顺序依次为③-①-④-②。
2、吸样不畅的原因及处理方法：
吸样不畅的原因主要有以下4种，沿着"由简单到复杂"的思路来检查；
①检查管路各个接口(包括电之间的连管、电与阀之间、电与泵管之间)的连管有无漏气，此种现象表现为不吸样；
②检查泵管是否粘连或过于疲劳，此时应更换新泵管。现象表现为泵管发出异常声音；
③各管道内尤其是各接头处有蛋白沉淀，此种现象表现为液速度过程定位不稳，即使换了新泵管也是样，解决办法为取下各接头用水清洗干净；
④阀本身有问题，要仔细地检查。
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