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汽车设备MKS真空压力计维修627F11TDC1B三大故障维修方法

发布者:ZY    来源:上海仰光电子     发布时间:2023-12-2

汽车设备MKS真空压力计维修627F11TDC1B三大故障维修方法
汽车设备MKS真空压力计维修627F11TDC1B三大故障维修方法
1、灯丝更换:
使用预先对齐的灯丝组件快速简便。
MKS 分析仪上的双独立灯丝可以通过卸下两个筒连接器并松开两个固定螺钉轻松更换。然后可以移除镜像灯丝板并用新的套件替换。灯丝安装在灯丝板上并预先对齐,以便于处理。除 UHV 版本外,所有 MKS 离子源都使用相同的灯丝组件,以最大限度地减少所需的备件库存。
2、离子源去除:
清洁或更换以去除污染
通过断开灯丝引线可以在一个模块中移除完整的离子源,然后使用安装套件中提供的 1.5mm 六角扳手,可以松开连接源的电线和源固定螺钉。此时可以移除并清洁或更换整个源。该手册提供了源清洁的详细说明。
3、质量过滤器盖:
拆下以接触杆组件。
可以拆下质量过滤器的盖子,以便对过滤器进行清洁。必须拆除与杆的电气连接以及盖子底部的螺钉。然后盖子滑过杆组件。此时可以对杆组件进行清洁。有关质量过滤器清洁的更多详细信息
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